HEPA 過濾器的處理、安裝及預燒程序 強烈建議您在處理過濾網之前詳讀整份文件。定義HEPA 過濾網 = 高效率空氣粒子過濾網。「高」代表 99.97% 或以上。效率是測量過濾網有效吸附微粒的方法。計算方法：進入過濾網的總微粒數除以攔截的微粒數。若被評定為 HEPA 級，則 10, 000 個微粒中僅可有 3 個以下的微粒穿透過濾器。一般而言，每 10,000 個微粒只有不到 1 個微粒可穿透濾紙。這些穿透微粒均不大於 5 微米，除非過濾網有漏洞。
媒體 = 從穿透其中的空氣中吸附微粒的濾紙，由矽硼酸玻璃纖維及黏結劑製成。濾紙在新製成時是極為強韌的紙張，燃燒後則極為脆弱。
黏結劑 = 用於將玻璃纖維黏結在一起，以使媒體具有構造強度的物質。黏結劑是 HEPA 過濾網製程過程中的標準部分。
分隔板 = 用於托住媒體褶襉及傳導氣流的元件。分隔板通常是波浪狀鋁片，但也曾使用過線繩、膠條及其他結構。
DOP = 苯 二甲 酸二辛酯 – 一種油性液體 (塑化劑)，用於產生 0.3 微米大小 (用於進行過濾效率測量的「熱 DOP」)及 2 到 4 微米大小 (用於測試是否有過濾漏洞的「冷 DOP」) 的飛沫。
燃燒 = 將黏結劑從過濾網去除的高溫製程，製程持續時間應長到足以去除烤箱的煙霧及異味，而後通常需手動清潔烤箱。
洩離 = 較高層的微粒在溫度變換時下沉的過濾行為。溫度變換的速度愈快，微粒計數也會愈大。這通常是燃燒掉媒體中的黏結劑後典型的過濾特性。
褶襉 = 過濾網每一面的媒體褶層。褶襉可使過濾網具有大媒體表面面積。
包裝與運送過濾網製造商的包裝方式各有不同。一般而言，廠商會使用內部強化硬紙盒來包裝
HEPA 過濾網。包裝過濾網時，分隔板呈垂直放置：由上到下直立放置在包裝盒內。包裝上應以垂直箭頭及「本面朝上」標籤清楚標示。一般而言，烤箱所需的所有 HEPA 過濾網均會一起捆裝在單一貨盤以便運送，每個紙箱或整個貨盤上也會放置保護紙面的夾板。
注意：收到 HEPA 過濾網時，請確保運送時褶襉均垂直放置。若以水平方式運送，一般的路面震動及搖晃可能會導致過濾網凹陷。任何粗暴的處理方式可能導致過濾網輕微受損。此損傷肉眼難以察覺，但會以漏洩顯現。這種損傷通常會使得過濾網不適於烤箱使用。
處理與存放 將不必要的處理降至最低。應將 HEPA 過濾網視為易碎的玻璃來處理。切勿使過濾網掉落或搖晃過濾網。若過濾網掉落，則不論過濾網是否在紙箱內，均應依照（檢驗）中所述的方式重新檢查過濾網是否受損。在安裝之前，應將過濾網留置在條板箱及運送紙箱內。處理過濾網時，建議將裝置的一角傾斜朝上放置，並握取兩個相鄰的角 (對角方向)。安裝時，隨時使過濾網保持垂直狀態，如紙箱上所示。安裝時，應以最低實體處理程度來取出過濾網，並如下列指示打開包裝。
打開包裝 除去紙箱周圍的條板箱 – 盡可能靠近烤箱。從紙箱中取出過濾網時請務必小心謹慎。切勿使過濾網掉落或搖晃過濾網。請確保安裝處空間夠大，且移除可能導致過濾網受損的障礙物。請小心撕開紙箱上方的密封膠帶。
- 打開後蓋回紙箱上方蓋口。
- 輕輕的反轉過濾網箱，將外露的過濾網頂端放在平坦的表面上，最好是地板上。
- 往上拉出過濾網紙箱。
- 小心除去過濾網的塑膠袋。
注意：若試著以抓住過濾網外框的方式從紙箱中取出過濾網，當手指刺穿精細的過濾媒體時可能會造成無法挽回的損毀。
檢驗 使用強光燈來檢查過濾網的外露區域，以確保沒有漏洞、裂縫或小孔。您可在暗室內使用光線較不強的燈具，如手電筒。
- 把燈光投射在分隔板隔出的每個通道，沿著通道投射全長，以檢查是否有明顯的缺損。所有分隔板之間的距離均應平均且一致。若分隔板單邊下壓，則表示過濾網遭到重大撞擊，因而可能造成媒體受損。若媒體有半透明區塊，則或許 (或許不) 表示有孔洞或裂縫。
- 媒體的小漏洞或裂縫通常會呈現在過濾網褶襉的表面邊緣，但通常難以立即發現。雖然漏洞或裂縫很小，但卻有重大影響。若在這種情況下安裝過濾網裝置，裂縫會因為空氣的流動而變得愈來愈大。
- 檢查過每個通道後，檢驗者應仔細檢查過濾網表面周圍的黏膠密封處，以確保密封完全且未裂開。過濾網四週應緊密地與外框及媒體黏附。另請檢查黏膠邊緣的媒體。若交接處有 1/ 2 英吋或以內的細小裂縫、濾紙有波紋或呈碎爛狀態，即是過濾器有不顯眼損傷的跡象。
- 對過濾器兩面做了詳細的檢查後，接著請檢查外框角落交接處的黏膠密封情形與緊密度。請檢查外框邊緣四周的墊圈膠條是否緊密交接或密合，且實體情況良好。亦請檢查墊圈膠條是否完全與外框黏合。
HEPA 過濾網更換當 HEPA 過濾網無法再執行所需功能時，請加以更換。下列是一些更常見的更換原因：
- 過濾網裝置內的阻力過力或壓降。HEPA 過濾網佈滿微粒時，即會造成 HEPA 過濾網阻力增加。過濾網的靜態壓力增加時，流經烤箱的氣流就會減少。這種情況會顯現在機器將熱傳導到產品的速率上。個別製程各有不同，但若過濾器內的初始靜態壓降增加達 1 英吋水深，即應更換 HEPA 過濾網。例如，若新過濾網的初始靜態壓降為 1.3 英吋水深，則當靜態壓降增加到2.3 時，即應更換過濾網。請記下新過濾網的壓降值，以供日後比較之用。
- 效率減低 (漏洩) (從往下穿透過濾網裝置的微粒數來研判)。
- 過濾網有明顯的毀損或濾紙破裂 (可能導致過濾網的壓降值降低)。
安裝任何安裝 HEPA 過濾網者均須留意所需的高效率效能。此外，他們應了解到，每一個外框內的過濾網包都非常精細，且安裝時不得造成過濾網受損。此外，必須安裝每一個過濾網，以免未經過濾的空氣流過。要將濾網安裝到其中的表面應合宜、乾淨、平滑、平坦、沒有焊接濺出物且應夠嚴密，可完全壓緊墊圈 (通常大約位在新的或尚未壓緊時的一半高度)。
建議您採用下列程序：
- 遵循（打開包裝）中所述的程序，小心地將過濾網從貨箱中取出。
注意：只在要安裝時一次取出一個過濾網。 - 如（檢查）中所述，仔細檢查過濾網兩面，查看過濾網媒體是否有裂縫、分隔板是否有毀損及過濾網包與外框之間的黏合是否緊密。查看墊圈是否與外框黏緊，且墊圈片也在交接處緊密接合。
- 垂直過濾網安裝：安裝過濾網時，請務必以垂直方向擺放褶襉。在底部的兩個下壓桿之間保留厚度適當的空間有助於在安裝緊固硬體時確定過濾網的位置。
注意：若以錯誤的方向安裝，過濾網中的褶襉將形成會堆積吸附物質的突出塊。不斷累積的物質重量可能會導致過濾網提早失效。 - 水平過濾網安裝：若氣流轉入過濾網的方向始終一致，則您應改變過濾網的方位，以將氣流紊亂的程度降到最低。也就是說，分隔板應順著空氣接近過濾網的方向擺放。您不應將分隔板以與蒸氣交叉的方式擺放 (空氣會在尖銳的邊緣轉向)。
- 將過濾網平均放置在開口上。執行此步驟時請特別小心謹慎。必要時，可請求他人協助。手指勿碰觸過濾網媒體及分隔板。
- 應依次鎖緊壓力螺帽，使過濾網上的壓力平均分佈。應以平均的力道將墊圈下壓到約無壓狀態下的一半高度。若下壓螺帽的螺紋是 3/8-16 NC (Despatch 烤箱通常使用此類螺帽)，裝上螺帽後需轉 2 到 3 次，所用扭力約是
4 到 12 呎磅。請記下所用扭力，以便與日後的數值相比較。 - 記下環境溫度下各組新過濾器間的壓降值，以便與日後發生阻塞情況時相比較。
- 注意：新鮮空氣、烘箱及廢氣過濾網的體積通常是相同的，請確保將安裝到烘箱或排氣管的過濾網已經過溫度評測。過濾網的過濾媒體與外框之間通常有紅色的橡皮黏合物
(其耐受溫度高達 260°C / 500°F )，且有壓縮纖維墊可供在更高溫的環境下使用。
黏結劑燃燒 在 150°C / 300°F 的溫度下使用新的 HEPA 過濾網時，設備的任何元件都會發生燃燒程序，設備會冒煙、傳出刺激性的異味，內部表面可能會有殘餘物。這是黏結劑氧化及測試用污染質蒸發/重組的結果。有一個媒體製造商表示，大多數的黏結劑在 260°C / 500°F 的溫度下運行八 (8) 到 四十八 (48) 小時後都會從過濾網中消失。8 小時後，媒體總重量減少了 4.2%，48 小時後則是 4.8%，而後則約是 .1%。檢查烤箱內是否有微粒，或檢查排氣管是否排出廢氣或傳出異味，以判斷燃燒程序是否已完成。過濾媒體的黏結劑燃燒殆盡後，媒體將會變得非常脆弱。在這之後，過濾網可能禁不起一般的處理程序，尤其是運送。若在黏結劑燃燒後處理 HEPA 過濾網，HEPA 將無法發揮應有效用。若媒體內殘留某些黏結劑 (在 220°C
/ 428°F 的溫度下燃燒，或愈低愈好)，則濾紙強度及或洩離特性則顯然較優良。不過，燃燒程序應在最高製程溫度或最高製程溫度以上執行。若在 260°C
/ 500°F 的溫度下燃燒黏結劑，請您記住，當烤箱的加熱溫度超過此最高製程溫度時，烤箱將會冒出額外的煙霧。執行此製程時，請選擇可排出烤箱所產生的煙霧與異味、干擾及不便程度最低的地點。這個地點最好是烤箱最終放置的位置。不過，這個地點也可能是貨物裝卸台、通風良好的空間，甚至是室外 (若氣候適宜的話)。若此地點是非常乾淨的區域，請特別留意收集煙霧與異味的排氣管是否接合妥當。
建議您採用下列程序：
- 找到正排出作業艙空氣的設備排氣管開口。
若將在乾淨的區域燃燒烤箱過濾網，請務必妥當處置設備排氣管。若設備很大，且排氣管處於永久維護連接狀態，則應在執行燃燒程序之前接上排氣管。若設備較小，且不須使用永久排氣管導管，請在乾淨區域之外 (將處理設備最高溫度之處) 暫時接上排氣管。將煙霧及異味導往室外，或通風極為良好之處。 - 在 260°C
/ 500°F 的溫度下使用過濾網：將溫度控制器設定在最高製程溫度。
在 260°C
/ 500°F 的溫度上使用過濾網：若要延長過濾網的使用壽命，請設定控制器，使烤箱溫度每一分鐘 (或更長時間) 增加 1°C ( 1.8 °F )。設定烤箱，使烤箱在第一次溫度快速升降期間，在 75°C
/ 167°F 的溫度下靜置 3 小時、在 105°C / 220°F 的溫度下靜置 3.5 小時，及在高於作業艙最高溫度 5°C 到 10°C ( 9°F 18°F ) 的溫度下靜置 1 小時。過濾網的冷卻速度應比每分鐘 1°C 快。在第一個週期期間，有限的快速升降溫速率及靜置時間可固化這些過濾網中的陶瓷黏劑，使強度達到最高。首次加熱後即可取消靜置時間設定。請見圖 1。 - 接上電源後，請啟動風扇。
- 接上設備加熱器電源。
- 燃燒過濾網，直到下沉空氣乾淨到足以進行製程為止。
圖 1 在仍能達到及維持所需溫度的情況下，以足夠的新鮮空氣或以氮氣沖洗的方式來去除煙霧。燃燒期是否結束應以烤箱內的微粒濃度為依據。在相同的溫度下，層壓媒體需花費比標準 HEPA 媒體更長的時間才能燃燒到微粒清淨的程度。在更高的溫度下，兩種媒體的燃燒速度都會加快。這兩種媒體的燃燒程序都沒有清楚界定的結束點，且會在烤箱運作期間繼續執行清潔作業。一般而言，層壓媒體的微粒清潔程度較標準媒體低。在 260°C
/ 500°F 以下的溫度下使用過濾網：一般而言，在 500°F
的溫度下可在 72 小時內清潔完成。在 260°C / 500°F 以上的溫度下使用過濾網：一般而言，在 750°F 的溫度下可在 24 小時內清潔完成。若需在燃燒程序完成後移動設備 (不建議這麼做)，請務必小心謹慎。 給予新的過濾網強度的黏結劑現已消失，且媒體已變得非常脆弱。強烈不建議您單獨處理過濾網或安裝有過濾網的設備。媒體可能會破裂 (裂縫)。若要使烤箱常保清潔，建議您在燃燒期結束後徹底清潔烤箱，之後定期清潔。燃燒程序完成後，請檢查過濾網下壓螺帽，必要時再次加以鎖緊。為獲得最佳結果，請定期重複執行此步驟。大多數的烤箱襯墊都會鬆脫，因此需在加熱後鎖緊。
測試 安裝後，請定期過濾網是否有裂縫。不建議在烤箱內使用 DOP 及類似的測試用污染質，因為這些物質在高溫下會有特殊反應。不同公司的測試方法也大不相同。不過，請注意，您不需對循環過濾網進行效率測試。過濾網通常能維持烤箱所需的潔淨度。完成黏結劑燃燒程序後應進行此項測試。在高溫下的烤箱中檢測微粒濃度的方法：利用熱交換器抽取出空氣樣本，並放入微粒計數器中。另一種方法就是判斷在環境溫度下測試晶圓沉降速率間的關聯性，然後在烤箱內使用測試晶圓，並完成烤箱週期。如需其他資訊，請與製造廠聯繫。
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